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半导体真空阀门维修

迈格诺科提供快速、高质量且有制造能力保证半导体设备真空阀门维保服务。我们不仅仅是一家半导体核心精密零组件及真空阀门和真空以及特气管路的供应商，并且是一家拥有全套的检测设备、丰富的维修经验、专业的技工团队的半导体设备真空阀门维保厂家。

  • 尺寸参数
  • 产品特性


          迈格诺科提供快速、高质量且有制造能力保证的半导体设备真空阀门维保服务。我们不仅仅是一家半导体核心精密零组件及真空阀门和特气管路的供应商，并且是一家拥有全套的检测设备、丰富的维修经验、专业的技工团队的半导体设备真空阀门维保厂家。迈格诺科有能力维修业内各厂家的真空阀门如日本SMC全系列真空角阀、矩形传输阀；瑞士VAT全系列真空闸阀、真空蝶阀、真空门阀;美国MKS全系列角阀、蝶阀。以及V-TEX、AMAT、NC、HVA等众多品牌。我们能够修复受损的阀门零件和结构，也能重新制造标准真空阀门及提供阀门维修零件包。
         迈格拥有完整的半导体洁净等级维修流程及标准的维修作业程序，来保证客户的真空阀能够正常运作并效恢复效能。
         为了确保每一个维修过的产品功能如新，我们尽可能采用原厂的材料及标准。为此，我们配备众多国际一线的专业的检测设备，如美国奥林巴斯光谱仪、海克斯康三坐标、硬度计、英福康检漏仪、阀门寿命测试设备以及满足SEMI标准，通过第三方认证百级洁净间等。
         如有需求，请联系我们的服务邮箱service@magnox.com.cn
产业类别 制程区域 设备制造商 型号 制程 阀门制造商 产品编号 产品名称 原厂料号/规格 产品图片
半导体 T/F AMAT Endura 5500 CVD-TiN AMAT TPV-001 8"TxZ Throttle Valve 0010-09035
0010-37768
0010-09035
0010-38027
半导体 T/F
ETCH 		AMAT P-5000 W-CVD AMAT TPV-002 6"WCVD Throttle Valve 0010-10082
半导体 T/F AMAT Centura II TIV AMAT TPV-003 12"BWCVD Throttle valve 0010-17151
0040-05469
0040-09022
半导体 T/F AMAT P-5000
Centura5200 		SSIN
BPSG
DARC C
TEOS
SA-CVD 		AMAT TPV-004 6"SA Throttle Valve
半导体 T/F AMAT Centura 5200 TEOS
SA-CVD 		AMAT TPV-005 8"SA-CVD Throttle Valve
8"TEOS/DxZ ThrottleValve 		0010-10778
0090-0034-001
半导体 T/F AMAT P-5000 TEOS AMAT TPV-006 6"TEOS Throttle Valve 0010-09301
半导体 T/F AMAT Endura 5500 Copper Seed AMAT TPV-007 PC3 Throttle Valve 0240-28146
0010-09019
半导体 T/F AMAT Centura 5200 SA-CVD
TEOS 		AMAT TPV-013 Centura Σ 0010-02142
半导体 T/F AMAT Producer SA-CVD
BPSG 		AMAT TPV-015 SA Producer Throttle valve 0010-09857
0010-26231-001
0010-37140
半导体 T/F AMAT P-5000 Nitride AMAT TPV-020 6"Nitride Throttle valve 0010-76175
半导体 T/F AMAT Centura.12" PCV AMAT TPV-036 HDP Throttle vavle PK243A2A-SG36
半导体 ETCH AMAT Centura 5200 Poly AMAT TPV-109 MxP / Super-E ChamberThrottle Valve
半导体 T/F AMAT Centura 5200 HDP AMAT TPV-111 DDTV. Throttle Valve 0010-08384-12939900-166
半导体 T/F AMAT Endura 5500
Centura 5200 		Mainfiram AMAT SVA-001 8"Bellows assembly Slitvalve
(TSMC 料号 30026688) 		0020-22412、0010-26966
0010-01287、0020-20345
0010-15287、0010-76428
半导体 ETCH AMAT Centura 5200 WAFER.LIFT,
ASSEMBLY,
Preclean 2 		AMAT SVA-002 Slit Valve Bellow Assembly 0010-20753
半导体 D/F RTP AMAT SVA-016 Slit Valve 0040-75863 REV003
半导体 T/F AMAT Endura 5500
Endura Il 		SPD AMAT SVA-102 300mm Slit Valve Assembly 3020-00077
半导体 D/F AMAT RTO-06 DPN AMAT SVA-103 DPN Chamber Imner DoorA ssembly NCDO2B50-75DC
半导体 T/F Novellus INOVA VAT SVA-107 Slit Valve 03012-LA24-0001
02112-BA24-APNI


产业类别 制程区域 设备制造商 型号 制程 阀门制造商 产品编号 产品名称 原厂料号/规格 产品图片
半导体 T/F AMAT Centura 5200 PVD VAT GAT-001 Gate Valve 0190-35101
(17432-kf21-1001)
半导体 D/F HVA Quantum IMP HVA GAT-002 Cryo-Pump Gate Valve 11210-1201r-002
半导体 T/F Novellus Vector HDP SMC GAT-003 L-Motion Gate Vlave XGT-300-30
60-251903-00
XGT312-50336-1A
半导体 D/F Varian Viision IMP VAT GAT-004 Source
Turbo-pump Gate valve 		14048-PE44
半导体 D/F Varian EHP1500 IMP VAT GAT-005 Cryo-pump gate valve 12150-PA44
半导体 T/F Novellus INOVA PVD VAT GAT-006 Valve Gate KF63,2.5 inch 14036-PE24-ARV1
半导体 T/F TEL Vector HDP SMC GAT-007 L-Motion Gate Vlave XG312-50336-1F-X179
半导体 T/F TEL   CVD V-TEX GAT-008 Roll cam Gate Valve CX12-000004-21
半导体 T/F AMAT   CVD V-TEX GAT-009 Roll cam Gate Valve CX12-000002-31
半导体 T/F AMAT Producer EDWARDS
MANUAL 		VAT GAT-010 VALVE ISO100 B90000220
半导体 T/F AMAT Endura Il CVD-TIN VAT GAT-011 VALVE ISO100 G09290620 
半导体 T/F AMAT Endura Il PNEUMATIC
8"CF RPG 		VAT GAT-012 Gate Vlave 10846-UE24-ALK1
10846-XE28-AAX2
半导体 D/F Axcelis NV-GSD IMP - GAT-013 Gate Vlave 10562-29-95
半导体 D/F Axcelis HE MP IMP VAT GAT-014 Gate Vlave 08038-FA24-1002
08140-FA24-A1B1
半导体 D/F Vista 80810 IMP VAT GAT-015 Gate Vlave 9400X-XA240-ABV2
半导体 T/F - - - VAT GAT-016 Gate Vlave N03933800.GV1075N1
半导体 T/F - - - VAT GAT-017 Gate Vlave 14040-PE44
半导体 T/F ASM HVA - HVA GAT-018 Gate Vlave 11212-0203
半导体 D/F Varian E500 IMP VAT GAT-019 Source and beamlinegate valve 12036-PA14-0002
半导体 D/F TEL ALPHA 303I HVA GAT-020   HAND Valve手动阀 11110-0603
半导体 T/F Novellus VAT - VAT GAT-021 SEALKITVALVE阻隔阀 01034KE24-1003
半导体 D/F Vista 80 - VAT GAT-022 turbo-pump gate avlve 12144-PA24-AFT1
半导体 D/F Axcelis HE3 V2 VAT GAT-023 HEI V2 Valve 08038-FA24-1002
半导体 T/F ASM - - HVA GAT-024 Gate Valve 11110-0203
半导体         VAT GAT-025 Pendulum Valve 65046-PA
半导体         Nor-Cal GAT-026 Pendulum Valve 3870-04672
半导体         VAT GAT-027 Pendulum Valve 65050
半导体         VAT GAT-028 Pendulum Valve 16548-PA21
半导体 T/F NVLs/AMAT   ETCH VAT GAT-029 Pendulum Valve 65040-PA52-AWV1
半导体 T/F       VAT GAT-030 Gate Valve 64040-PE52-1009
半导体 ETCH     ETCH VAT GAT-031 Gate Valve 12046-PE24-AAG1
半导体 T/F AMAT Centura   VAT GAT-032 Gate Valve 12048-PA44
半导体 ETCH   ASM ETCH HVA GAT-033 Gate Valve 13210-0153
半导体 D/F AMAT     HVA GAT-034 Gate Valve 21251-10037-001
半导体 T/F       VAT GAT-035 Gate Valve 12146-PA24-AGK1
半导体 D/F   TEL   HVA GAT-036 Gate Valve GVI160P
半导体 T/F   VISTA810   VAT GAT-037 Gate Valve  VGA160IEP1
半导体         VAT GAT-038 Gate Valve 65046-JH52-ADI2
半导体 T/F   Producer GT   VAT GAT-039 Gate Valve COMBO 控压阀 95238-PAGO-ADH1
半导体 T/F       VAT GAT-040 Gate Valve 16852-JA28-ACY1
半导体           GAT-041 Gate Valve 3870-03243  
半导体     E-GUN   HVA GAT-042 Gate Valve  
半导体 ETCH     LAM VAT GAT-043 Pendulum Valve 65048-PH52-AFS1
半导体 T/F       Nor-Cal GAT-044 Pendulum Valve 3870-00998
半导体 T/F ULVAC Z-1000 VAC HVA GAT-101 SLIT Gate Valve 02010BA-24-86557
半导体 D/F TEL VAT   VAT GAT-102 Gate Valve 12044-PA24-1002
半导体 D/F AMAT Centura L/ Trubo TXZ VAT GAT-103 Gate Valve  08040-FA24AAJ1
半导体 T/F AMAT Centura MO VAT GAT-104 Gate Valve 12040-PA24-ABZ1
半导体 ETCH AMAT Centura POLY VAT GAT-105 Gate Valve 12040-FE24-1004
半导体 T/F ASM EAGLE-10
TEOS 		UNICAM V-TEX GAT-106 Gate Valve  
半导体 T/F   VAT HDP VAT GAT-107 Gate Valve 10846-UE24-AAM1
半导体 T/F AMAT Producer SA CVD HVA GAT-108 Valve Gate3"N/CW/ 0-0373 021010-1
半导体 T/F AMAT Endura 5500 CVD-TiN AMAT TPV-001 8"TxZ Throttle Valve 0010-09035
0010-37768
0010-09035
0010-38027
半导体 T/F
ETCH 		AMAT P-5000 W-CVD AMAT TPV-002 6"WCVD Throttle Valve 0010-10082
半导体 T/F AMAT Centura II TIV AMAT TPV-003 12"BWCVD Throttle valve 0010-17151
0040-05469
0040-09022
半导体 T/F AMAT P-5000
Centura5200 		SSIN
BPSG
DARC C
TEOS
SA-CVD 		AMAT TPV-004 6"SA Throttle Valve  
半导体 T/F AMAT Centura 5200 TEOS
SA-CVD 		AMAT TPV-005 8"SA-CVD Throttle Valve
8"TEOS/DxZ ThrottleValve 		0010-10778
0090-0034-001
半导体 T/F AMAT P-5000 TEOS AMAT TPV-006 6"TEOS Throttle Valve 0010-09301
半导体 T/F AMAT Endura 5500 Copper Seed AMAT TPV-007 PC3 Throttle Valve 0240-28146
0010-09019
半导体 T/F AMAT Producer PECVD
OXIDE 		MKS TPV-008 Producer Valve 253B-16083
253B-15083
253B-21977
253B-26661
253B-14340
半导体 T/F AMAT Centura 5200 HTF MKS TPV-009 HTF Process Chamber PCV Valve
RTP Buffer Chamber PCV Valve 		253B-11203
253B-13964
半导体 T/F AMAT Centura 5200 HTF MKS TPV-010 HTF Process Chamber PCV Valve
RTP Buffer Chamber PCV Valve 		253B-14570
253B-20-40-1
253B-16182
半导体 ETCH GaSonic/IPC L3500 Asher MKS TPV-011 Asher Chamber Throttle valve 253B-11020
半导体 T/F Novellus C1 PECVD
SiH4 		MKS TPV-012 Load Lock Throttle valve 2" KF50 253A 253A-12457
253B-13264
半导体 T/F AMAT Centura 5200 SA-CVD
TEOS 		AMAT TPV-013 Centura Σ 0010-02142
半导体 ETCH PSC PSC Asher MKS TPV-014 Producer Valve 96045136L
半导体 T/F AMAT Producer SA-CVD
BPSG 		AMAT TPV-015 SA Producer Throttle valve 0010-09857
0010-26231-001
0010-37140
半导体 T/F MKS Producer MKS MKS TPV-016 Throttle valve 653B-18552
半导体 T/F AMAT Centura 5200 IISG MKS TPV-017 PCV Throttle Valve 253B-14579
253B-12237
半导体 T/F AMAT Producer BSG MKS TPV-018 PE Throttle valve 683B-24562
半导体 T/F AMAT Producer USG MKS TPV-019 SA Throttle vlave 683B-23795
半导体 T/F AMAT P-5000 Nitride AMAT TPV-020 6"Nitride Throttle valve 0010-76175
半导体 T/F AMAT Producer SE SA-CVD MKS TPV-021 MKS SA Throttle valve 683B-26033
683B-24617
半导体 T/F AMAT DPSII URBO PUM MKS TPV-022 ISOValve 153F-16063
半导体 T/F AMAT     Tylan TPV-023 Throttle vavle PH265-02
半导体 T/F AMAT     Tylan TPV-024 Throttle vavle MX4OJIK18SIN
半导体 T/F AMAT     MKS TPV-025 Throttle vavle 253B
半导体 T/F AKT AKT
4300/5500 		AKT
4300/5500 		MKS TPV-026 Throttle vavle 653B-13071
半导体 T/F AKT AKT
4300/5500 		AKT
4300/5500 		MKS TPV-027 Throttle vavle 653B-22815
半导体 T/F AMAT producer HDP Chamber MKS TPV-028 Throttle vavle 153D-15973
半导体 T/F AMAT producer HDP Chamber MKS TPV-029 Throttle vavle 153D-15006
半导体 T/F LAN LAN 9400
Novellus C1 		Polly MKS TPV-030 Throttle vavle 253B-13264
半导体 T/F AMAT     MKS TPV-031 Throttle vavle RSX-S
半导体 T/F AMAT     MKS TPV-032 Throttle vavle RSX-100J
半导体 T/F AVIZA
ALD 		TTV PCV MKS TPV-034 Throttle vavle T3BIA-25947
半导体 T/F TEL ALPHA 303 PCV MKS TPV-035 Throttle vavle 2020448-001(T3BIA27547)
半导体 T/F AMAT Centura.12" PCV AMAT TPV-036 HDP Throttle vavle PK243A2A-SG36
半导体 T/F   Novellus NC Nor-Cal TPV-037 Throttle vavle 22-2844
半导体 T/F AMAT Centura PCV MKS TPV-038 Throttle vavle 253B-24627
半导体 T/F     SA MKS TPV-039 Throttle vavle T3BIA-27242
半导体 T/F AMAT Centura RTP MKS TPV-040 DIG EXH THROTTLEDNET 2"Flapper w T3BIA-26711
半导体 T/F TEL DWTWSI APC MKS TPV-041 Throttle vavle HV-50N
半导体 T/F AMAT   PCV MKS TPV-042 Throttle vavle S00106867
半导体 T/F AMAT Producer   MKS TPV-045 Throttle vavle 653B-14814
半导体 T/F ULVACE PSK
韩国去光阻 		PSK MKS TPV-046 Throttle vavle 653B-4-100-2
半导体 T/F ULVACE     MKS TPV-047 Throttle vavle T3BIA-27921
半导体 T/F AMAT Centura   MKS TPV-048 Throttle vavle 683B-26871
半导体 D/F AMAT RTP MF PCV Nor-Cal TPV-049 Throttle vavle 3870-04672
半导体 T/F LAM
BEVEL 		    MKS TPV-051 Throttle vavle 253B-26766
半导体 T/F       Tylan TPV-053 Throttle vavle MDVX030IT
半导体 D/F         TPV-054 Throttle vavle T3BIA-27547
半导体 T/F AMAT Producer SA-CVD   TPV-101 Throttle vavle  
半导体 T/F     TEOS MKS TPV-102 Throttle vavle 683B
半导体 ETCH TEL 85 DRM /
88 SCCM 		Poly Etch VAT TPV-103 Throttle vavle 61144-PH52-AAM1
半导体 T/F AMAT Centura 5200 PCV MKS TPV-106   253B
半导体 T/F TEL EP Ti2C14 Tylan TPV-107 APC valve MX50KFV15SSN
半导体 D/F AMAT Producer TEOS MKS TPV-108 Producer Valve 253B-23957
253B-26278
半导体 ETCH AMAT Centura 5200 Poly AMAT TPV-109 MxP / Super-E ChamberThrottle Valve  
半导体 T/F AMAT Centura 5200 HDP AMAT TPV-111 DDTV. Throttle Valve 0010-08384-12939900-166
半导体 T/F AMAT Novellus HDp MKS TPV-112 Throttle valve 253B-15665
半导体 T/F Novellus Sequel CVD MKS TPV-113 BTILN Buffer Chamnber PCV  253B-20401
半导体 T/F AMAT RTP CORA MKS TPV-114 APC Throttle Valve. 253B-2-50-1
半导体 T/F AMAT Producer HDP MKS TPV-117 WTS Throttle Valve :253B-15416
半导体 T/F WL WIT1000 CVD MKS TPV-118 Throttle Valve NKS 253B-11102
半导体 T/F AMAT Endura 5500
Centura 5200 		Mainfiram AMAT SVA-001 8"Bellows assembly Slitvalve
(TSMC 料号 30026688) 		0020-22412、0010-26966
0010-01287、0020-20345
0010-15287、0010-76428
半导体 ETCH AMAT Centura 5200 WAFER.LIFT,
ASSEMBLY,
Preclean 2 		AMAT SVA-002 Slit Valve Bellow Assembly 0010-20753
半导体 T/F AMAT Producer   VAT SVA-003 L/Ldoor 0750XUE24-AAL8/0273
0010-01711
0010-01711
半导体 T/F ULVAC ENTRON   V-TEX SVA-004 Slit Valve Cylinder 02110-BA24
半导体 T/F AMAT Producer   VAT SVA-005 Slit valve Bellows Assembly 07512-UA24
半导体 T/F TEL V-TEX   V-TEX SVA-006 V-TEX GATE Valve  
半导体 T/F ULVAC ULVAC PVD VAT SVA-008 SLIT Gate Valve NKV2-12U(50x336)
半导体 D/F       VAT SVA-009 DPN Slit Door 0040-44818REV004
半导体 ETCH TEL     V-TEX SVA-010 TEL SHUT DOORASSY 280-00081-11
半导体 ETCH TEL     VAT SVA-011 Producer GT 0750X-UA24-AIP2
半导体 ETCH TEL     VAT SVA-012 Producer GT. SLIT VLV ASSY S-INSRT
G67P MECH+REED SW 		0340X-CA24-BMP1
半导体 T/F TEL     SMC SVA-013 SMC Gate Valve XGT-0402BWN-X2
半导体 T/F       VAT SVA-014 Producer SE Slit Valve Module 0340X-CA24-BMB1
半导体 T/F AMAT     V-TEX SVA-015 Gate Valve NA(V060149
半导体 D/F   RTP   AMAT SVA-016 Slit Valve 0040-75863 REV003
半导体 T/F     HDP VAT SVA-017 Slit Valve 243788/0371 
半导体 D/F       VAT SVA-019 Gate Valve 258798
半导体         VAT SVA-020   A-682864
半导体 T/F AMAT P5000 CVD VAT SVA-101 Slit Valve AssemblyActuator. ZA Gate 0300-MA24
半导体 T/F AMAT Endura 5500
Endura Il 		SPD AMAT SVA-102 300mm Slit Valve Assembly 3020-00077
半导体 D/F AMAT RTO-06 DPN AMAT SVA-103 DPN Chamber Imner DoorA ssembly NCDO2B50-75DC
半导体 T/F AMAT Centura I DCA
(WCVD) 		W-CVD VAT SVA-104 A ssy neumatic Actuati onValve  243786/0443
半导体 T/F Novellus Concept 2 Altus W-CVD SMC SVA-105 Prcess Vodule Slit Valve XGT200-30-1A-X176
半导体 T/F Novellus INOVA   AMAT SVA-107 Slit Valve 03012-LA24-0001
02112-BA24-APNI
半导体   Novellus     VAT SVA-108 300mm NVLS DLCM Slit Valve 07512-UA24-ADI2
半导体 D/F HITACHI KOKUSAI   8 inch   MS-001 Rotation Axis Magnetic Seal 27975
半导体 IMP Varian 80
E-1000 		8 inch   MS-002 Main Drive Shaft 52-118199
52-121187
E19000940
半导体 PECVD Novellus C2 8 inch   MS-003 Spindle Feedthrough 52-131938
02-106507-00
半导体 CVD
D/F 		TEL   8 inch   MS-004 Spindle Feedthrough 60766Z
半导体 CVD
D/F 		TEL   12 inch   MS-005 Vacuum Feedthrough EKK046005
半导体 CVD
D/F 		TEL   8 inch   MS-006 Vacuum Feedthrough 024-014317-1
6011189
60770A
半导体 IMP Varian 80 8 inch   MS-007 WAFHAND Feedthrough 54-116667
半导体 IMP Axcelis HE3 12 inch   MS-008 Direct Drive Spindle Feedthrough 11029090
1193490
(轴长445mm)
半导体 IMP Axcelis EATON 12 inch   MS-009 Belt Driver Spindle Feedthrough 1180900
11S5301
(轴长369mm)
半导体 IMP Axcelis EATON 12 inch   MS-010 Belt Driver Spindle Feedthrough 52-117600
(轴长357mm)
半导体 ETCH Varian 3180、3190、
3280、3290 		Sputter   MS-011 Retrofit sealing packages 54-116533
半导体 IMP Varian 80 8 inch   MS-012 Mass Slit feedthough 52-120755/E19003080
52-120756/E19003081
半导体   Vecoo       MS-013 Magnetic Seal 57-133133
半导体 IMP Varian   8 inch   MS-014 Magnetic Seal 54-117147
52-161761
52-121656
52-121761
52-107009
52-121660
半导体 IMP Varian E1000
M2000 		    MS-015 Magnetic Seal 52-121237
E17129050
半导体 IMP Varian 160
E500HP 		    MS-016 XP Spindle C-F4151001
半导体           MS-017 Magnetic Seal 51-105021
52-115736
半导体           MS-018 Magnetic Seal 26622C
H021776
半导体 IMP Varian E220     MS-019 Magnetic Seal 54-116667
半导体   Novellus       MS-020 Magnetic Seal V640108
CDC351
半导体 CVD  Novellus C3 12 INCH   MS-021 Vctor Spindle 02-276537-00
半导体 CVD  Novellus C3 12 INCH   MS-022 Vctor Spindle 02-324753-00
02-312735-00


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