UHP前驱体源瓶
材质:316L或特殊材质
氦泄漏率< 4.0 × 10°mbarL/S 。
温度范围:-50°C至+100°C。
表面处理:EP,Ra≤0.25μm
灌装介质：金属有机前驱体材料、硅基前驱体材料及其他高纯前驱体化学品
可装化学品纯度：99.9999%～99.9999999%
全自动轨道焊接技术确保罐体无焊接死角。
稳固的安全设计,所有型号的源瓶都经过破坏性压力测试和高空跌落测试。
与设备厂商充分合作，设计最佳输送管道尺寸和形状，所有管道路线与尺寸已针对饱和度和吞吐量进行了优化。
清晰的标签标识管理，便于安装。
最优产量优化设计，确保了工艺中有机金属化合物的最高收率为≥95%。
易于集成大多数现有的辅助系统和温度控制系统。
采用高质量材料及生产工艺，确保清洁、改装和重复灌装可轻松进行。
- 尺寸参数
- 产品特性